Det finnes mange typer mekaniske sensorer, for eksempel trykksensorer for belastningsmåler for motstand, trykksensorer for halvlederspenningsmåler, piezoresistive trykksensorer, induktive trykksensorer, kapasitive trykksensorer, resonante trykksensorer og kapasitive akselerasjonssensorer. Men den mest brukte er piezoresistive trykksensoren, som har en svært lav pris og høy nøyaktighet og god linearitet. Nedenfor introduserer vi hovedsakelig slike sensorer.
Når vi forstår den piezoresistive kraftsensoren, forstår vi først elementet, for eksempel en motstandsbelastningsmåler. Belastningsmåleren for motstand er en sensitiv enhet som konverterer belastningsendringen på DUT til et elektrisk signal. Det er en av hovedkomponentene i en piezoresistiv strekksensor. De mest brukte motstandsstammen gages er metallmotstandsstamme gages og halvlederstamme gages. Det finnes to typer belastningsmålere for metallmotstand: trådstammemålere og belastningsmålere for metallfolie. Vanligvis er strekkmåleren tett festet til substratet som genererer mekanisk belastning gjennom et spesielt lim. Når substratet gjennomgår en stressendring, deformeres motstandsspenningsmåleren også sammen, slik at motstandsverdien til strekkmåleren endres, og dermed endres spenningen som påføres motstanden. Slike strekkmålere har vanligvis en liten endring i motstand når de er stresset. Vanligvis danner disse strekkmålerne en strekkbro, som forsterkes av en etterfølgende instrumenteringsforsterker og deretter overføres til prosesseringskretsen (vanligvis A / D-konvertering). Og CPU) skjerm eller aktuator.